세계의 반도체용 건식 식각 장비시장 2025년 (유도 결합 플라즈마(ICP), 정전용량 결합 플라즈마(CCP), 반응성 이온 식각(RIE), 심층 반응성 이온 식각(DRIE), 기타) : 글로벌 및 한국시장 규모 포함

전 세계 반도체용 건식 식각 장비 시장 규모는 2024년 기준 206억 2800만 달러였으며, 2025년부터 2031년까지의 예측 기간 동안 연평균 복합 성장률(CAGR) 7.3%를 기록하며 2031년까지 336억 1500만 달러로 재조정될 것으로 전망됩니다.
2025년까지 진화하는 미국 관세 정책은 글로벌 경제 환경에 상당한 불확실성을 초래할 전망이다. 본 보고서는 최신 미국 관세 조치와 전 세계적 대응 정책을 심층 분석하여 반도체용 건식 식각 장비 시장 경쟁력, 지역별 경제 성과, 공급망 구성에 미치는 영향을 평가한다.
건식 식각 장비는 액체 화학 물질 대신 플라즈마 또는 반응성 가스를 사용하여 웨이퍼 표면의 물질을 제거하는 반도체 제조 공구입니다. 이 공정은 고급 반도체 제조에 필수적인 높은 이방성을 가진 정밀한 패턴 전사를 가능하게 합니다. 주요 기술로는 반응성 이온 식각(RIE), 유도 결합 플라즈마(ICP) 식각, 심층 반응성 이온 식각(DRIE) 등이 있습니다. 건식 식각 시스템은 로직 칩, 메모리, MEMS 구조 등 미세 특징을 가진 마이크로전자 소자 생산에 필수적이며, 습식 식각 방식에 비해 우수한 제어력, 선택성, 균일성을 제공합니다.
반도체용 건식 식각 장비 시장은 주로 첨단 노드 칩의 지속적인 발전과 신기술의 광범위한 채택에 의해 주도됩니다. 5G, 인공지능(AI), 고성능 컴퓨팅(HPC), 사물인터넷(IoT)의 급속한 발전은 더 높은 정밀도와 더 작은 특징 크기에 대한 수요를 증가시켜 건식 식각 기술을 더 정밀하고 제어 가능한 공정으로 이끌고 있습니다. 또한 반도체 산업의 생산 능력 및 수율에 대한 엄격한 요구사항과 3D NAND, 첨단 로직 칩, 3세대 반도체(예: SiC/GaN)의 부상은 건식 식각 장비에 대한 시장 수요를 더욱 촉진하고 있습니다.
현재 건식 에칭 장비 시장은 세 가지 주요 트렌드를 보이고 있습니다. 첫째, 극자외선(EUV) 리소그래피 도입으로 에칭 공정이 더 높은 정확도를 요구함에 따라 공정 정밀도가 증가하고 있습니다. 둘째, AI 및 빅데이터 분석을 통합하여 에칭 공정을 최적화함으로써 안정성과 생산 효율성을 개선하는 장비 지능화입니다. 셋째, 적용 분야 다각화로, 건식 에칭이 기존 실리콘 기반 반도체를 넘어 첨단 패키징, MEMS, 전력 소자 등으로 확대되고 있습니다. 또한 글로벌 반도체 공급망의 현지화 추세로 중국과 한국 등 지역에서 에칭 장비의 국내 연구개발 및 생산 능력 확장이 가속화되고 있습니다.
글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장은 기업, 지역(국가), 유형, 응용 분야별로 전략적으로 세분화됩니다. 본 보고서는 2020년부터 2031년까지 지역별, 유형별, 응용 분야별 매출, 수익 및 예측에 대한 데이터 기반 통찰력을 통해 이해관계자들이 신흥 기회를 활용하고 제품 전략을 최적화하며 경쟁사를 능가할 수 있도록 지원합니다.
시장 세분화
기업별:
램 리서치
도쿄 일렉트로닉스
애플라이드 머티리얼즈
히타치 하이테크
세메스
AMEC
나우라
SPTS 테크놀로지스 (KLA)
옥스포드 인스트루먼츠
ULVAC
Plasma-Therm
GigaLane
VM
Jusung Engineering
삼코
유형별: (주류 부문 대 고수익 혁신 부문)
유도 결합 플라즈마 (ICP)
용량 결합 플라즈마(CCP)
반응성 이온 식각(RIE)
심층 반응성 이온 식각(DRIE)
기타
응용 분야별: (핵심 수요 동인 vs 신흥 기회)
로직 및 메모리
전력 장치
MEMS
기타
지역별
거시 지역별 분석: 시장 규모 및 성장 전망
– 북미
– 유럽
– 아시아 태평양
– 남미
– 중동 및 아프리카
마이크로 지역 시장 심층 분석: 전략적 통찰
– 경쟁 환경: 기존 강자 대 신흥 도전기업 (예: 유럽의 램 리서치)
– 신흥 제품 동향: 유도 결합 플라즈마(ICP) 채택 vs. 정전용량 결합 플라즈마(CCP) 프리미엄화
– 수요 측면 동향: 중국의 로직 및 메모리 성장 vs. 북미의 파워 디바이스 잠재력
– 지역별 소비자 요구: EU의 규제 장벽 vs. 인도의 가격 민감도
주요 시장:
북미
유럽
중국
일본
대한민국
(추가 지역은 고객 요구에 따라 맞춤 설정 가능합니다.)
장 개요
제1장: 보고서 범위, 요약 및 시장 진화 시나리오(단기/중기/장기).
2장: 글로벌, 지역 및 국가 차원의 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 및 성장 잠재력에 대한 정량적 분석.
제3장: 제조업체 경쟁 벤치마킹(매출, 시장 점유율, M&A, R&D 중점 분야).
4장: 유형별 세분화 분석 – 블루 오션 시장 발굴 (예: 중국의 CCP(Capacitive Coupled Plasma)).
제5장: 응용 분야별 세분화 분석 – 고성장 다운스트림 기회(예: 인도의 전력 소자).
제6장: 기업별, 유형별, 응용 분야별, 고객별 지역별 매출 및 수익 분석.
제7장: 주요 제조업체 프로필 – 재무 현황, 제품 포트폴리오 및 전략적 발전 동향.
제8장: 시장 역학 – 성장 동인, 제약 요인, 규제 영향 및 위험 완화 전략.
제9장: 실행 가능한 결론 및 전략적 권고사항.
본 보고서의 필요성
일반적인 글로벌 시장 보고서와 달리, 본 연구는 거시적 산업 동향과 초지역적 운영 정보를 결합하여 반도체용 건식 식각 장비 가치 사슬 전반에 걸쳐 데이터 기반 의사 결정을 지원하며 다음을 다룹니다:
– 지역별 시장 진입 위험/기회
– 현지 관행에 기반한 제품 구성 최적화
– 분산형 시장 대 통합형 시장에서의 경쟁사 전략

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산업 조사자료 이미지

1 시장 개요
1.1 반도체용 건식 식각 장비 제품 범위
1.2 유형별 반도체용 건식 식각 장비
1.2.1 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (2020년, 2024년, 2031년)
1.2.2 유도 결합 플라즈마(ICP)
1.2.3 정전용량 결합 플라즈마(CCP)
1.2.4 반응성 이온 식각(RIE)
1.2.5 심층 반응성 이온 식각(DRIE)
1.2.6 기타
1.3 응용 분야별 반도체용 건식 에칭 장비
1.3.1 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 비교 (2020년, 2024년, 2031년)
1.3.2 로직 및 메모리
1.3.3 전력 소자
1.3.4 MEMS
1.3.5 기타
1.4 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 추정 및 전망 (2020-2031)
1.4.1 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 가치 성장률 (2020-2031)
1.4.2 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모(수량) 성장률 (2020-2031)
1.4.3 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 동향 (2020-2031)
1.5 가정 및 제한 사항
2 지역별 시장 규모 및 전망
2.1 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모: 2020년 VS 2024년 VS 2031년
2.2 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 과거 시장 시나리오 (2020-2025)
2.2.1 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (2020-2025)
2.2.2 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 시장 점유율 (2020-2025)
2.3 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 추정 및 예측 (2026-2031)
2.3.1 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 추정 및 예측 (2026-2031)
2.3.2 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 전망 (2026-2031)
2.4 주요 지역 및 신흥 시장 분석
2.4.1 북미 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 및 전망 (2020-2031)
2.4.2 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 및 전망 (2020-2031)
2.4.3 중국 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 및 전망 (2020-2031)
2.4.4 일본 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 및 전망 (2020-2031)
2.4.5 한국 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 및 전망 (2020-2031)
3. 유형별 글로벌 시장 규모
3.1 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 역사적 검토 (2020-2025)
3.1.1 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (2020-2025)
3.1.2 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 (2020-2025)
3.1.3 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 (2020-2025)
3.2 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 추정 및 예측 (2026-2031)
3.2.1 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 예측 (2026-2031)
3.2.2 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 예측 (2026-2031)
3.2.3 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 예측 (2026-2031)
3.3 반도체용 건식 식각 장비 주요 업체별 유형별 분석
4 응용 분야별 글로벌 시장 규모
4.1 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 역사적 검토 (2020-2025)
4.1.1 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (2020-2025)
4.1.2 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 (2020-2025)
4.1.3 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 (2020-2025)
4.2 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 추정 및 예측 (2026-2031)
4.2.1 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 예측 (2026-2031)
4.2.2 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 전망 (2026-2031)
4.2.3 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 전망 (2026-2031)
4.3 반도체 애플리케이션용 건식 에칭 장비의 새로운 성장 동력
5. 주요 업체별 경쟁 환경
5.1 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 업체별 매출 (2020-2025)
5.2 매출 기준 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 상위 업체 (2020-2025)
5.3 기업 유형별(Tier 1, Tier 2, Tier 3) 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 점유율 (2024년 기준 반도체용 건식 에칭 장비 매출 기준)
5.4 기업별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 평균 가격 (2020-2025)
5.5 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 주요 제조업체, 생산 현장 및 본사
5.6 반도체용 건식 에칭 장비 글로벌 주요 제조업체, 제품 유형 및 적용 분야
5.7 글로벌 반도체용 건식 식각 장비 주요 제조업체, 해당 산업 진출 시기
5.8 제조업체 인수합병 및 확장 계획
6 지역별 분석
6.1 북미 시장: 주요 업체, 세그먼트, 다운스트림 및 주요 고객
6.1.1 기업별 북미 반도체용 건식 에칭 장비 판매량
6.1.1.1 북미 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025)
6.1.1.2 북미 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025)
6.1.2 북미 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 매출 분석 (2020-2025)
6.1.3 북미 반도체용 건식 에칭 장비 애플리케이션별 매출 분석 (2020-2025)
6.1.4 북미 반도체용 건식 에칭 장비 주요 고객사
6.1.5 북미 시장 동향 및 기회
6.2 유럽 시장: 주요 업체, 세그먼트, 다운스트림 및 주요 고객
6.2.1 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출
6.2.1.1 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025)
6.2.1.2 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025)
6.2.2 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 매출 분석 (2020-2025)
6.2.3 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 매출 응용 분야별 분석 (2020-2025)
6.2.4 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 주요 고객사
6.2.5 유럽 시장 동향 및 기회
6.3 중국 시장: 주요 업체, 세그먼트, 다운스트림 및 주요 고객
6.3.1 중국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출
6.3.1.1 중국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025)
6.3.1.2 중국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출액 (2020-2025)
6.3.2 중국 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 판매 내역 (2020-2025)
6.3.3 중국 반도체용 건식 에칭 장비 응용 분야별 판매 내역 (2020-2025)
6.3.4 중국 반도체용 건식 에칭 장비 주요 고객사
6.3.5 중국 시장 동향 및 기회
6.4 일본 시장: 주요 업체, 세그먼트, 다운스트림 및 주요 고객
6.4.1 일본 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출
6.4.1.1 일본 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 판매량 (2020-2025)
6.4.1.2 일본 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025)
6.4.2 일본 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 매출 분석 (2020-2025)
6.4.3 일본 반도체용 건식 에칭 장비 매출 응용 분야별 분석 (2020-2025)
6.4.4 일본의 반도체용 건식 에칭 장비 주요 고객사
6.4.5 일본 시장 동향 및 기회
6.5 한국 시장: 주요 업체, 세그먼트, 다운스트림 및 주요 고객
6.5.1 한국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출
6.5.1.1 한국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025)
6.5.1.2 한국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025)
6.5.2 유형별 한국 반도체용 건식 에칭 장비 판매 내역 (2020-2025)
6.5.3 한국 반도체용 건식 에칭 장비 응용 분야별 판매 내역 (2020-2025)
6.5.4 한국 반도체용 건식 에칭 장비 주요 고객사
6.5.5 한국 시장 동향 및 기회
7 기업 프로필 및 주요 인물
7.1 램 리서치
7.1.1 램 리서치 회사 정보
7.1.2 램 리서치 사업 개요
7.1.3 램 리서치 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.1.4 램 리서치 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.1.5 램 리서치 최근 동향
7.2 도쿄 일렉트로닉스 주식회사
7.2.1 Tokyo Electron Limited 회사 정보
7.2.2 Tokyo Electron Limited 사업 개요
7.2.3 Tokyo Electron Limited 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.2.4 도쿄 일렉트론 유한회사 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.2.5 도쿄 일렉트로닉 리미티드의 최근 동향
7.3 애플라이드 머티리얼즈
7.3.1 애플라이드 머티리얼즈 회사 정보
7.3.2 애플라이드 머티리얼즈 사업 개요
7.3.3 애플라이드 머티리얼즈 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.3.4 Applied Materials의 반도체용 건식 에칭 장비 제품 라인업
7.3.5 애플라이드 머티리얼즈의 최근 동향
7.4 Hitachi High-Tech
7.4.1 Hitachi High-Tech 회사 정보
7.4.2 Hitachi High-Tech 사업 개요
7.4.3 Hitachi High-Tech 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.4.4 Hitachi High-Tech 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.4.5 히타치 하이테크 최근 개발 동향
7.5 SEMES
7.5.1 SEMES 회사 정보
7.5.2 SEMES 사업 개요
7.5.3 SEMES 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.5.4 SEMES 반도체용 건식 에칭 장비 제품 라인업
7.5.5 SEMES 최근 개발 동향
7.6 AMEC
7.6.1 AMEC 회사 정보
7.6.2 AMEC 사업 개요
7.6.3 AMEC 반도체용 건식 에칭 장비 판매, 매출 및 매출 총이익 (2020-2025)
7.6.4 AMEC 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.6.5 AMEC 최근 개발 동향
7.7 NAURA
7.7.1 NAURA 회사 정보
7.7.2 NAURA 사업 개요
7.7.3 NAURA 반도체용 건식 에칭 장비 판매, 매출 및 총마진 (2020-2025)
7.7.4 NAURA 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.7.5 NAURA 최근 개발 동향
7.8 SPTS 테크놀로지스 (KLA)
7.8.1 SPTS 테크놀로지스(KLA) 회사 정보
7.8.2 SPTS 테크놀로지스(KLA) 사업 개요
7.8.3 SPTS Technologies (KLA) 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.8.4 SPTS Technologies (KLA) 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.8.5 SPTS Technologies (KLA) 최근 개발 동향
7.9 옥스포드 인스트루먼츠
7.9.1 Oxford Instruments 회사 정보
7.9.2 Oxford Instruments 사업 개요
7.9.3 Oxford Instruments 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.9.4 Oxford Instruments 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.9.5 옥스포드 인스트루먼츠 최근 동향
7.10 ULVAC
7.10.1 ULVAC 회사 정보
7.10.2 ULVAC 사업 개요
7.10.3 ULVAC 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.10.4 ULVAC 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.10.5 ULVAC 최근 개발 동향
7.11 Plasma-Therm
7.11.1 Plasma-Therm 회사 정보
7.11.2 Plasma-Therm 사업 개요
7.11.3 Plasma-Therm 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.11.4 Plasma-Therm 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.11.5 Plasma-Therm 최근 개발 동향
7.12 GigaLane
7.12.1 GigaLane 회사 정보
7.12.2 GigaLane 사업 개요
7.12.3 GigaLane 반도체용 건식 에칭 장비 판매, 매출 및 매출 총이익 (2020-2025)
7.12.4 GigaLane 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.12.5 GigaLane 최근 개발
7.13 VM
7.13.1 VM 회사 정보
7.13.2 VM 사업 개요
7.13.3 VM 반도체용 건식 에칭 장비 판매, 매출 및 총마진 (2020-2025)
7.13.4 VM 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.13.5 VM 최근 개발 동향
7.14 주성엔지니어링
7.14.1 주성엔지니어링 회사 정보
7.14.2 주성엔지니어링 사업 개요
7.14.3 주성엔지니어링 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 매출 총이익 (2020-2025)
7.14.4 주성엔지니어링 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.14.5 주성엔지니어링 최근 동향
7.15 삼코
7.15.1 삼코 회사 정보
7.15.2 삼코 사업 개요
7.15.3 SAMCO 반도체용 건식 에칭 장비 매출, 수익 및 총마진 (2020-2025)
7.15.4 SAMCO 반도체용 건식 에칭 장비 제공 제품
7.15.5 SAMCO 최근 개발 동향
8 반도체 제조용 건식 에칭 장비 비용 분석
8.1 반도체용 건식 에칭 장비 주요 원자재 분석
8.1.1 주요 원자재
8.1.2 원자재 주요 공급업체
8.2 제조 원가 구조 비율
8.3 반도체용 건식 식각 장비 제조 공정 분석
8.4 반도체용 건식 식각 장비 산업 체인 분석
9 마케팅 채널, 유통업체 및 고객
9.1 마케팅 채널
9.2 반도체용 건식 에칭 장비 유통업체 목록
9.3 반도체용 건식 에칭 장비 고객사
10 반도체용 건식 에칭 장비 시장 동향
10.1 반도체 산업용 건식 에칭 장비 동향
10.2 반도체용 건식 에칭 장비 시장 동인
10.3 반도체 시장에서의 건식 식각 장비 과제
10.4 반도체 시장 건식 식각 장비 제약 요인
11 연구 결과 및 결론
12 부록
12.1 연구 방법론
12.1.1 방법론/연구 접근법
12.1.1.1 연구 프로그램/설계
12.1.1.2 시장 규모 추정
12.1.1.3 시장 세분화 및 데이터 삼각측정
12.1.2 데이터 출처
12.1.2.1 2차 자료
12.1.2.2 1차 자료
12.2 저자 정보
12.3 면책 조항


표 목록
표 1. 반도체용 글로벌 건식 식각 장비 매출액(백만 달러) 유형별 성장률(2020년, 2024년, 2031년)
표 2. 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출(백만 달러) 비교 (2020년, 2024년, 2031년)
표 3. 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모(백만 달러): 2020년 VS 2024년 VS 2031년
표 4. 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (대) (2020-2025)
표 5. 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (2020-2025)
표 6. 지역별 반도체용 건식 식각 장비 매출액(백만 달러) 시장 점유율 (2020-2025)
표 7. 지역별 반도체용 건식 식각 장비 매출 점유율 (2020-2025)
표 8. 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대) 전망 (2026-2031)
표 9. 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 예측 (2026-2031)
표 10. 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출(백만 달러) 예측 (2026-2031)
표 11. 지역별 반도체용 건식 에칭 장비 매출 점유율 전망 (2026-2031)
표 12. 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (대) 및 (2020-2025)
표 13. 전 세계 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 판매 점유율 (2020-2025)
표 14. 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 (백만 달러) 및 (2020-2025)
표 15. 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 (K US$/대) 및 (2020-2025)
표 16. 유형별 반도체용 글로벌 건식 에칭 장비 판매량 (대) 및 (2026-2031)
표 17. 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 (백만 달러) 및 (2026-2031)
표 18. 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 (K US$/대) 및 (2026-2031)
표 19. 각 유형별 대표 기업
표 20. 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (대) 및 (2020-2025)
표 21. 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 점유율 (2020-2025)
표 22. 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 (백만 달러) 및 (2020-2025)
표 23. 애플리케이션별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 (K US$/대) 및 (2020-2025)
표 24. 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (대) 및 (2026-2031)
표 25. 애플리케이션별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 시장 점유율 (백만 달러) 및 (2026-2031)
표 26. 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 가격 (K US$/대) 및 (2026-2031)
표 27. 반도체 애플리케이션용 건식 에칭 장비의 새로운 성장 동력
표 28. 기업별 반도체용 글로벌 건식 에칭 장비 판매량 (대) (2020-2025)
표 29. 기업별 반도체용 글로벌 건식 에칭 장비 판매 점유율 (2020-2025)
표 30. 기업별 반도체용 건식 에칭 장비 글로벌 매출 (백만 달러) 및 (2020-2025)
표 31. 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 기업별 점유율 (2020-2025)
표 32. 기업 유형별(Tier 1, Tier 2, Tier 3) 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 (2024년 기준 반도체용 건식 에칭 장비 매출액 기준)
표 33. 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 기업별 평균 가격 (K US$/대) 및 (2020-2025)
표 34. 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 주요 제조업체, 생산기지 및 본사
표 35. 반도체용 건식 식각 장비 글로벌 주요 제조업체, 제품 유형 및 적용 분야
표 36. 반도체용 건식 식각 장비 글로벌 주요 제조업체, 해당 산업 진출 시기
표 37. 제조업체 인수 합병, 확장 계획
표 38. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출 (2020-2025) 및 (대수)
표 39. 북미 반도체용 건식 식각 장비 기업별 매출 시장 점유율 (2020-2025)
표 40. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출액 (2020-2025) & (백만 달러)
표 41. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 매출 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 42. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 판매량 (2020-2025) & (대)
표 43. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (유형별) (2020-2025)
표 44. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 응용 분야별 판매량 (2020-2025) 및 (대수)
표 45. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (2020-2025)
표 46. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 판매량 (2020-2025) & (대수)
표 47. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 판매 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 48. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출액 (2020-2025) & (백만 달러)
표 49. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 매출 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 50. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 판매량 (2020-2025) & (대)
표 51. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 유형별 (2020-2025)
표 52. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 응용 분야별 판매량 (2020-2025) & (대)
표 53. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (2020-2025)
표 54. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 판매량 (2020-2025) 및 (대수)
표 55. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 판매 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 56. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출액 (2020-2025) & (백만 달러)
표 57. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 매출 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 58. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 판매량 (2020-2025) & (대)
표 59. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (유형별) (2020-2025)
표 60. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 응용 분야별 판매량 (2020-2025) & (대)
표 61. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (2020-2025)
표 62. 일본 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 판매량 (2020-2025) 및 (대수)
표 63. 일본 반도체용 건식 에칭 장비 판매 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 64. 일본 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출액 (2020-2025) & (백만 달러)
표 65. 일본 반도체용 건식 에칭 장비 매출 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 66. 일본 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 판매량 (2020-2025) & (대)
표 67. 일본 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (유형별) (2020-2025)
표 68. 일본 반도체용 건식 에칭 장비 응용 분야별 판매량 (2020-2025) & (대)
표 69. 일본 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (2020-2025)
표 70. 한국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 판매량 (2020-2025) 및 (대수)
표 71. 한국 반도체용 건식 에칭 장비 판매 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 72. 한국 반도체용 건식 에칭 장비 기업별 매출액 (2020-2025) & (백만 달러)
표 73. 한국 반도체용 건식 에칭 장비 매출 기업별 시장 점유율 (2020-2025)
표 74. 유형별 한국 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (2020-2025) & (대)
표 75. 한국 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 유형별 (2020-2025)
표 76. 응용 분야별 한국 반도체용 건식 에칭 장비 판매량 (2020-2025) 및 (대수)
표 77. 한국 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율 (2020-2025)
표 78. 램 리서치 회사 정보
표 79. 램 리서치(Lam Research) 개요 및 사업 개요
표 80. 램 리서치 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 총마진(2020-2025)
표 81. 램 리서치 반도체용 건식 에칭 장비 제품
표 82. 램 리서치 최근 개발 동향
표 83. 도쿄 일렉트로닉스 유한회사 기업 정보
표 84. 도쿄 일렉트로닉 리미티드 개요 및 사업 개요
표 85. 도쿄 일렉트로닉 리미티드 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 86. 도쿄 일렉트로닉스(주) 반도체용 건식 식각 장비 제품
표 87. 도쿄 일렉트로닉 리미티드 최근 동향
표 88. 어플라이드 머티리얼즈 회사 정보
표 89. 애플라이드 머티리얼즈 개요 및 사업 개요
표 90. 애플라이드 머티리얼즈 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 91. 애플라이드 머티리얼즈 반도체용 건식 식각 장비 제품
표 92. 애플라이드 머티리얼즈 최근 동향
표 93. 히타치 하이테크 기업 정보
표 94. 히타치 하이테크 개요 및 사업 개요
표 95. 히타치 하이테크 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 96. 히타치 하이테크 반도체용 건식 에칭 장비 제품
표 97. 히타치 하이테크 최근 동향
표 98. SEMES 회사 정보
표 99. SEMES 개요 및 사업 개요
표 100. SEMES 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(K US$/대) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 101. SEMES 반도체용 건식 에칭 장비 제품
표 102. SEMES 최근 동향
표 103. AMEC 회사 정보
표 104. AMEC 개요 및 사업 개요
표 105. AMEC 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 106. AMEC 반도체용 건식 식각 장비 제품
표 107. AMEC 최근 동향
표 108. NAURA 회사 정보
표 109. NAURA 개요 및 사업 개요
표 110. NAURA 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 111. NAURA 반도체용 건식 식각 장비 제품
표 112. NAURA 최근 동향
표 113. SPTS 테크놀로지스(KLA) 회사 정보
표 114. SPTS 테크놀로지스(KLA) 개요 및 사업 개요
표 115. SPTS Technologies (KLA) 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 총마진(2020-2025)
표 116. SPTS 테크놀로지스(KLA) 반도체용 건식 식각 장비 제품
표 117. SPTS 테크놀로지스(KLA) 최근 동향
표 118. Oxford Instruments 회사 정보
표 119. Oxford Instruments 개요 및 사업 개요
표 120. Oxford Instruments 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 121. 옥스포드 인스트루먼츠 반도체용 건식 식각 장비 제품
표 122. Oxford Instruments 최근 동향
표 123. ULVAC 회사 정보
표 124. ULVAC 개요 및 사업 개요
표 125. ULVAC 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(K US$/대) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 126. ULVAC 반도체용 건식 식각 장비 제품
표 127. ULVAC 최근 동향
표 128. Plasma-Therm 회사 정보
표 129. Plasma-Therm 개요 및 사업 개요
표 130. Plasma-Therm 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(K US$/대) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 131. 플라즈마-써름 반도체용 건식 에칭 장비 제품
표 132. Plasma-Therm 최근 동향
표 133. GigaLane 회사 정보
표 134. GigaLane 개요 및 사업 개요
표 135. GigaLane 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(K US$/대) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 136. GigaLane 반도체용 건식 에칭 장비 제품
표 137. GigaLane 최근 동향
표 138. VM 회사 정보
표 139. VM 개요 및 사업 개요
표 140. VM 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(K US$/대) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 141. VM 반도체용 건식 식각 장비 제품
표 142. VM 최근 동향
표 143. 주성엔지니어링 회사 정보
표 144. 주성엔지니어링 개요 및 사업 개요
표 145. 주성엔지니어링 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 146. 주성엔지니어링 반도체용 건식 에칭 장비 제품
표 147. 주성엔지니어링 최근 동향
표 148. 삼코 회사 정보
표 149. 삼코(SAMCO) 개요 및 사업 개요
표 150. 삼코 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대), 매출액(백만 달러), 가격(대당 천 달러) 및 매출 총이익률(2020-2025)
표 151. SAMCO 반도체용 건식 에칭 장비 제품
표 152. 삼코 최근 동향
표 153. 원자재 생산 거점 및 시장 집중도
표 154. 원자재 주요 공급업체
표 155. 반도체용 건식 식각 장비 유통사 목록
표 156. 반도체용 건식 식각 장비 고객사 목록
표 157. 반도체용 건식 식각 장비 시장 동향
표 158. 반도체용 건식 식각 장비 시장 동인
표 159. 반도체용 건식 식각 장비 시장 과제
표 160. 반도체 시장 건식 식각 장비 제약 요인
표 161. 본 보고서 연구 프로그램/설계
표 162. 2차 자료 출처의 주요 데이터 정보
표 163. 1차 자료 출처의 주요 데이터 정보


그림 목록
그림 1. 반도체용 건식 식각 장비 제품 사진
그림 2. 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출액 (백만 달러) (2020년, 2024년, 2031년)
그림 3. 2024년 및 2031년 유형별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 시장 점유율
그림 4. 유도 결합 플라즈마(ICP) 제품 사진
그림 5. 정전용량 결합 플라즈마(CCP) 제품 사진
그림 6. 반응성 이온 식각(RIE) 제품 사진
그림 7. 심층 반응성 이온 식각(DRIE) 제품 사진
그림 8. 기타 제품 사진
그림 9. 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 식각 장비 매출액 (백만 달러) (2020년, 2024년, 2031년)
그림 10. 2024년 및 2031년 애플리케이션별 글로벌 반도체용 건식 식각 장비 판매 시장 점유율
그림 11. 로직 및 메모리 예시
그림 12. 전력 소자 예시
그림 13. MEMS 예시
그림 14. 기타 예시
그림 15. 글로벌 반도체용 건식 식각 장비 매출, (백만 달러), 2020년 VS 2024년 VS 2031년
그림 16. 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 성장률 (2020-2031) 및 (백만 달러)
그림 17. 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대) 성장률(2020-2031)
그림 18. 글로벌 반도체용 건식 식각 장비 가격 동향 성장률 (2020-2031) 및 (K US$/대)
그림 19. 반도체용 건식 식각 장비 보고서 대상 연도
그림 20. 지역별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 규모 (백만 달러): 2020년 VS 2024년 VS 2031년
그림 21. 지역별 글로벌 반도체용 건식 식각 장비 매출 시장 점유율: 2020년 VS 2024년
그림 22. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 매출(백만 달러) 성장률(2020-2031)
그림 23. 북미 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대) 성장률 (2020-2031)
그림 24. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 매출액(백만 달러) 성장률(2020-2031)
그림 25. 유럽 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대) 성장률(2020-2031)
그림 26. 중국 반도체용 건식 식각 장비 매출액(백만 달러) 성장률(2020-2031)
그림 27. 중국 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대) 성장률 (2020-2031)
그림 28. 일본 반도체용 건식 식각 장비 매출액(백만 달러) 성장률(2020-2031)
그림 29. 일본의 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대) 성장률 (2020-2031)
그림 30. 한국의 반도체용 건식 식각 장비 매출액(백만 달러) 성장률(2020-2031)
그림 31. 한국의 반도체용 건식 에칭 장비 판매량(대) 성장률(2020-2031)
그림 32. 전 세계 반도체용 건식 식각 장비 매출액 유형별 점유율 (2020-2025)
그림 33. 전 세계 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 판매 점유율 (2026-2031)
그림 34. 전 세계 반도체용 건식 에칭 장비 유형별 매출 점유율 (2026-2031)
그림 35. 응용 분야별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 점유율 (2020-2025)
그림 36. 2020년 및 2024년 애플리케이션별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 성장률
그림 37. 애플리케이션별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 점유율 (2026-2031)
그림 38. 애플리케이션별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 점유율 (2026-2031)
그림 39. 기업별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 판매 점유율 (2024년)
그림 40. 기업별 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 매출 점유율 (2024년)
그림 41. 글로벌 반도체용 건식 에칭 장비 시장 매출 기준 상위 5개 기업 시장 점유율: 2020년 및 2024년
그림 42. 반도체용 건식 에칭 장비 시장 점유율 (기업 유형별: Tier 1, Tier 2, Tier 3): 2020년 VS 2024년
그림 43. 반도체용 건식 에칭 장비의 제조 원가 구조
그림 44. 반도체용 건식 에칭 장비 제조 공정 분석
그림 45. 반도체용 건식 식각 장비 산업 체인
그림 46. 유통 채널 (직접 대 유통)
그림 47. 유통업체 프로필
그림 48. 본 보고서의 상향식 및 하향식 접근법
그림 49. 데이터 삼각검증
그림 50. 주요 임원 인터뷰 대상자

❖본 조사 보고서의 견적의뢰 / 샘플 / 구입 / 질문 폼❖


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반도체용 건식 식각 장비는 반도체 제조 공정에서 필수적인 장비 중 하나로, 웨이퍼 표면의 특정 영역을 선택적으로 제거하는 데 사용된다. 이 과정은 전자 회로의 형성을 위한 패턴화 및 미세 가공에 매우 중요하다. 건식 식각은 습식 식각에 비해 여러 가지 장점이 있어 더욱 널리 사용되고 있으며, 특히 높은 해상도와 정밀도를 요구하는 최신 반도체 제조에 적합하다.

건식 식각의 기본 개념은 플라즈마나 이온 빔, 또는 다른 가스를 이용하여 반도체 재료의 표면을 화학적으로 또는 물리적으로 변형하여 원하는 패턴을 생성하는 것이다. 이 과정에서 사용되는 재료는 보통 실리콘, 게르마늄, 또는 III-V족 반도체 같은 고급 반도체 재료로, 이를 통해 고성능 전자 소자를 제작할 수 있다. 일반적으로 이 장비는 진공 환경에서 작동하며, 다양한 가스를 주입하여 반응을 유도하고 생성된 이온 또는 라디칼을 이용해 식각을 수행한다.

건식 식각 장비의 종류는 크게 세 가지로 나눌 수 있다. 첫째, 플라즈마 식각 장비(PECVD)로, 플라즈마 상태의 가스를 사용하여 기판의 표면을 식각하는 방식이다. 둘째, 이온빔 식각 장비(IBE)는 고에너지 이온을 사용하여 매우 정밀하게 식각할 수 있는 장비로, 미세한 패턴이 요구되는 고급 반도체 공정에서 주로 사용된다. 셋째, 반응성 이온 식각(RIE) 장비는 화학 반응과 물리적 에너지를 동시에 이용하여 균형 잡힌 식각을 가능하게 하며, 높은 식각 비율과 균일성을 제공한다.

이러한 건식 식각 장비의 주요 용도는 반도체 소자의 회로 패턴 형성이며, 이는 MOSFET, MEMS, 그리고 LED 같은 다양한 전자 소자의 제작에 필수적이다. 특히, 초미세 가공의 필요성이 증가함에 따라 건식 식각 기술의 중요성은 더욱 커지고 있다. 또한, 최근에는 5G, AI, IoT와 같은 첨단 기술의 발전에 힘입어 고성능 반도체 소자의 수요가 증가하고 있어, 이에 따른 건식 식각 장비의 발전과 혁신이 지속되고 있다.

관련 기술로는 표면 처리를 위한 화학물질, 새로운 가스 조합, 및 에칭 공정의 최적화 기술 등이 있다. 이러한 기술은 식각 품질과 속도를 향상시키는 데 기여하고, 더욱 미세화된 공정이 가능하도록 한다. 나아가, 소프트웨어와 자동화 기술이 결합되어 공정 모니터링 및 제어의 정밀성이 높아지고 있으며, 이로 인해 생산성과 품질이 크게 향상되었다.

결론적으로, 반도체용 건식 식각 장비는 현대 전자 공정에서 필수적인 역할을 하며, 다양한 기술적 발전과 혁신이 향후 이 분야에서 지속적으로 일어날 것이다. 이러한 장비는 특히 고성능 반도체 소자의 제작에 있어 매우 중요한 위치를 차지하고 있으며, 새로운 기술의 도입과 함께 더욱 발전할 것으로 기대된다.